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洁净室尘埃粒子检测基准_合肥实验室设计公司
发布时间：2025-07-06 来源：维高净化 浏览次数：12
1.0目的
规范公司洁净室尘埃 粒子检测方法，以使洁净室达到洁净要求
2.0范围
适用于公司所有洁净室（含镀膜、丝印、超声波、贴膜、组检车间）
3.0职责与权限
3.1实验室：定期定点对洁净室尘埃粒子检测，并出示检测报告。
3.2质量部部长：审批检测报告
3.3洁净室各部门主管：对检测不合格进行整改。
4.0执行标准
美国联邦标准（<USA Federal Standard> 209E（1992年））
洁净度级别
粒径（μm）单位：pc/ft3
0.1
0.2
0.3
0.5
5.0
1
35
7.5
3
1
NA
10
350
75
30
10
NA
100
NA
750
300
100
NA
1000
NA
NA
NA
1000
7
5000
NA
NA
NA
5000
35
10000
NA
NA
NA
10000
70
 
5.0内容：
5.1检测仪器的操作：
 
5.1.1打开仪器侧面的电源开关，GT-321屏幕上显示0.3u。如果屏幕无显示，请检查并调节LCD背光源对比度或检查电池是否需要充电。
5.1.2每次开机，默认测试粒径为0.3u，可以按<SELECT>键依此选择0.5u，5.0u，测试粒径。选择好测试粒径后，按<START>键开始测试，这时可听到内置气泵运转的声音。6秒钟后屏幕显示大于等于所选粒子个数（每立方英尺），仪器会不间断地再测试9次（每6秒取样1次），1分钟后屏幕显示的最终测量结果为10次的平均值。
5.1.3采用随机附带的Isokinetic采样头可以避免风流对测试精度的影响，特别是测量小粒径的颗粒时应采用Isokinetic采样头。将采样头一端的软管接到GT-321的进风嘴上即可。可以加长采样头的软管，但会影响测试精确度，软管不要超过4英尺（1.2米）。
5.1.4测量位置会影响测试结果，测量时应把采样头正对风流方向，并保持稳定。
5.1.5将测试结果记录在测试报表上。
5.1.6仪器校准：
a)空气泄露或仪器内部被污染都会影响测试结果的正确性，应定期对仪器进行校正，将配套的过滤效率为0.2um的高效过滤器连接在进风口上，然后开机，经过滤的洁净空气会清洁仪器，≥0.3um以上的微粒会被清除（效率达到99.99%以上），这时选择测试≥0.3um的微粒，测试时间为60秒，结果应该为0。
b)过高或过低的风量都会影响测试结果的正确性，应定期对仪器进行校正，采用精度为+/-3%的风量计（可选热敏式风量计），将风量计连接在进风口上，然后开机，风量计读数应在0.1CFM+/-5%范围内，如果超出该范围，可用小起子伸进GT-321底部，顺时针方向增加风量，逆时针方向减少风量
5.2取样点的设置
5.2.1暂规定共42个取样点（分别在组检、丝印、贴膜、超声波清洗、超声波（检验）/镀膜等车间）。见附图。则取样点位置仅为参考， 取样点依据车间工艺布局而改动。
5.2.2取样点应在相应位置的作业台面，采样时采样头朝上。见附图。
5.2.3取样点检测数据须填写在报告的对应位置。
5.3取样时机
5.3.1每周对采样点进行常规检测2次。
5.3.2洁净室进行保养（如进行更换中高效过滤器）或5S大扫除后需进行检测；
5.3.3遇上长假日（如春节），洁净室停开一段时期后重开需检测；
5.3.4出现异常（包括产品质量异常）时因分析而需检测。
5.4检测报告公布与异常处理
5.4.1检测员完成所有采样点检测后，需如实的填写检测数据；
5.4.2针对出现异常的采样点，检测员需填写异常联络单，需要时交质量部部长签名确认；
5.4.3相关部门负责人需针对异常情况作出相应的改善措施；
5.4.4检测员需对改善后的情况进行复测。
6.0附件
6.1洁净室采样示意图。

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